| 发明名称 | 薄膜制造方法和薄膜元件 | ||
| 摘要 | 本发明的实施例提供一种薄膜制造方法和薄膜元件。该薄膜制造方法包括：将衬底放置到原材料溶液中，通过该原材料溶液在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过将光从光源施加到第一主平面侧，在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过应用来自该光源的光，测量从该衬底的第一主平面到该原材料溶液的液面的距离；以及基于测量时获得的测量结果，调整高度方向上该衬底的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN102343326A | 申请公布日期 | 2012.02.08 |
| 申请号 | CN201110217303.5 | 申请日期 | 2011.08.01 |
| 申请人 | 株式会社理光 | 发明人 | 八木雅广;太田英一;秋山善一;田代亮;町田治 |
| 分类号 | B05D1/18(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I | 主分类号 | B05D1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 王冉 |
| 主权项 | 一种薄膜制造方法，包括：将衬底放置到原材料溶液中，通过该原材料溶液在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过将光从光源施加到第一主平面侧，在该衬底的第一主平面上形成薄膜；通过应用来自该光源的光，测量从该衬底的第一主平面到该原材料溶液的液面的距离；以及基于测量时获得的测量结果，调整高度方向上该衬底的位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||