膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

摘要

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括一个坩埚，及一个旋转轴。所述坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述旋转轴与所述坩埚相连接，所述坩埚可以绕所述旋转轴旋转。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，及一个驱动器。所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料，所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面。所述驱动器具有一个驱动轴，所述驱动轴与所述平整盖相耦合，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔。所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部。本发明另外提供一种具有所述膜料加工装置的蒸镀设备。

主权项

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；及一个旋转轴，其与所述坩埚相连接，所述坩埚可以绕所述旋转轴旋转；其特征在于：所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，及一个驱动器；所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，所述驱动器具有一个驱动轴；所述驱动轴与所述平整盖相耦合，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部。