| 发明名称 | 用于确定离子束轮廓的方法和系统 | ||
| 摘要 | 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101675494B | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN200880014181.6 | 申请日期 | 2008.04.03 |
| 申请人 | 艾克塞利斯科技公司 | 发明人 | 迈克尔·葛雷夫;约翰·叶;波·凡德尔贝格;迈克尔·克里斯托弗罗;黄永章 |
| 分类号 | H01J37/244(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/244(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种用于确定离子束轮廓的设备，包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区；束改变装置，被配置为调整进入所述测量区的所述离子束的横截面区域，其中，所述束改变装置包括物体，所述物体被配置为至少部分阻挡进入所述测量区的所述离子束的横截面区域，其中，所述物体以周期性的间隔并以类似钟摆的方式移动；以及控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||