| 发明名称 | 位置测量设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种位置测量设备，所述位置测量设备适于检测扫描单元以及对此在至少一个测量方向上可移动的反射实物量具的相对位置。扫描单元包括主光源以及在检测平面中的至少一个检测器装置。在检测平面中，可由主光源产生点光源的周期布置。主光源被布置在检测平面之上。 | ||
| 申请公布号 | CN102341676A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201080010169.5 | 申请日期 | 2010.02.03 |
| 申请人 | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 | 发明人 | U.本纳 |
| 分类号 | G01D5/347(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/347(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 胡莉莉;李家麟 |
| 主权项 | 一种用于检测扫描单元以及对此在至少一个测量方向上可移动的反射实物量具的相对位置的位置测量设备，其中扫描单元包括主光源以及在检测平面中的至少一个检测器装置，并且在检测平面中能够由主光源产生周期布置的点光源，其特征在于，主光源（24；124；224；334）被布置在检测平面（D）之上。 | ||
| 地址 | 德国特劳恩罗伊特 | ||