硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺

摘要

本发明公开了一种硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺。利用电泳分离技术将废砂浆中的单晶硅Si及碳化硅SiC分离，使之回收再利用。首先，在废砂浆中加入2-5vol.％稀盐酸溶液，稀盐酸溶液与废砂浆体积比为1.5至3；沉降24-48h后，将上层液体排出。加入蒸馏水反复沉降排出上层液体2-4次；加入60-80vol.％蒸馏水、0.1-1wt.％的分散剂阿拉伯树胶，球磨12-24h后，调节悬浮液pH值在3-3.5；电泳分离得正极沉积物，在所得阳极沉积物中再加入蒸馏水和阿拉伯树胶调节悬浮液pH值在3-3.5电泳分离分离得再次正极沉积物，重复以上步骤三次得电泳5次的正极沉积物。

主权项

一种硅晶体加工过程中废砂浆的处理工艺，其特征在于，包括下述步骤：(1)在废砂浆中加入稀盐酸溶液，稀盐酸溶液与废砂浆体积比为1.5～3，沉降24‑48h后，将上层液体排出，得沉淀的废砂浆，用蒸馏水反复清洗至少2次，得酸洗后的废砂浆沉淀物；(2)在废砂浆沉淀物中加入体积百分含量为60‑80％的蒸馏水，并加入质量百分含量为0.1‑1％的阿拉伯树胶作为分散剂，球磨12h以上，得废砂浆悬浮液；(3)将球磨后废砂浆悬浮液的pH值调节至3‑3.5，电泳分离5～15min获得阳极沉积物；(4)在所得阳极沉积物中加入体积百分含量为60‑80％的蒸馏水，并加入质量百分含量为0.1‑1％的阿拉伯树胶作为分散剂，配成阳极沉积物悬浮液；(5)将阳极沉积物悬浮液的pH值调节至3‑3.5，电泳分离5～15min获得再次阳极沉积物；(6)重复步骤(4)～(5)三次，最终获得电泳五次的阳极沉积物。