| 发明名称 | 一种可提高套刻测试准确性的方法 | ||
| 摘要 | 一种可提高套刻测试准确性的方法，其特征是在正常铝光刻前，采用光刻、刻蚀的方式，将套刻测量标记外框上的铝腐蚀掉，将铝溅射后不对称的标记变成对称的，该方法包括如下步骤：第一步，进行溅射铝工序；第二步，对溅射铝后的圆片进行光刻工序，本工序包含涂胶、曝光、显影是三个操作；第三步：刻蚀对位标记上的铝。 | ||
| 申请公布号 | CN102338988A | 申请公布日期 | 2012.02.01 |
| 申请号 | CN201010229924.0 | 申请日期 | 2010.07.19 |
| 申请人 | 无锡职业技术学院 | 发明人 | 沈小娟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/3213(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种可提高套刻测试准确性的方法，其特征是在正常铝光刻前，采用光刻、刻蚀的方式，将套刻测量标记外框上的铝腐蚀掉，将铝溅射后不对称的标记变成对称的，该方法包括如下步骤：第一步，进行溅射铝工序；第二步，对溅射铝后的圆片进行光刻工序，本工序包含涂胶、曝光、显影是三个操作；第三步：刻蚀对位标记上的铝。 | ||
| 地址 | 214121 江苏省无锡市高浪西路1600号 | ||