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Vakuumeinrichtung zur Behandlung von auf Substratträgern (2) angeordneten Substraten (1), bestehend aus einer Ringkammer (3) mit einer Zentralachse (4), um die kreisförmig mindestens eine Arbeitsstation (7, 7a, 7b) und eine Schleusenkammer (6) angeordnet sind sowie eine innerhalb der Ringkammer (3) um die Zentralachse (4) drehbare Transporteinheit (5), dadurch gekennzeichnet, dass die Arbeitsstation (7, 7a, 7b) eine Vakuumkammer, bestehend aus einer stationären oberen Vakuumkammer (10) und einer bewegbaren unteren Vakuumkammer (9) aufweist, dass die untere Vakuumkammer (9) auf die Transporteinheit (5) abgesetzt und zur Schleusenkammer (6) oder weiteren Arbeitsstationen (7, 7a, 7b) bewegt werden kann, dass je ein Substratträger (2) in einer unteren Vakuumkammer (9) gelagert werden kann und dass die untere Vakuumkammer (9) in der Position vertikal unter der oberen Vakuumkammer (10) durch eine externe Hubeinrichtung (13) an die oberen Vakuumkammer (10) angelegt bzw. von dieser entfernt werden kann.
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