一阶和二阶温度补偿谐振器

摘要

本发明涉及一阶和二阶温度补偿谐振器。本发明涉及温度补偿谐振器，其包括形变中使用的体，其中体的核（58，58’，18）由石英晶体中以切角（θ’）形成的板形成，该石英晶体确定一阶和二阶温度系数（α，β，α’，β’）。根据本发明，该体包括涂层（52，54，56，52’，54’，56’，16），该涂层至少部分地沉积在核上并且具有根据温度的一阶和二阶杨氏模量变化（CTE1，CTE2，CTE1’，CTE2’），该一阶和二阶杨氏模量变化分别与所述谐振器的所述一阶和二阶温度系数符号相反，从而使得所述一阶和二阶温度系数基本上为零。本发明涉及时基和频基的领域。

主权项

一种温度补偿谐振器，包括形变中使用的体，其中所述体（3，5，7，15，23，25，27，33，35，37，43，45，47）的核（58，58’，18）由石英晶体中以切角（θ，θ’）形成的板形成，所述石英晶体确定一阶和二阶温度系数（α，β，α’，β’），其特征在于所述体（3，5，7，15，23，25，27，33，35，37，43，45，47）包括涂层（52，54，56，52’，54’，56’，16），所述涂层（52，54，56，52’，54’，56’，16）至少部分地沉积在所述核（58，58’，18）上并且具有根据温度的一阶和二阶杨氏模量变化（CTE1，CTE2，CTE1’，CTE2’），所述一阶和二阶杨氏模量变化分别与所述谐振器的所述一阶和二阶温度系数（α，β，α’，β’）符号相反，使得所述一阶和二阶温度系数（α，β，α’，β’）基本上为零。