表面声波元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种表面声波元件及其制造方法，该表面声波元件的能量损耗小、且例如在用于滤波器装置时能抑制在主响应的谐振频率附近产生的寄生频率从而能够提高滤波器装置的通频带附近的频率特性。表面声波元件(10)具备压电性基板(11)、梳齿状电极(12)和绝缘膜(13)。梳齿状电极(12)形成在压电性基板上(11)。绝缘膜(13)以覆盖压电性基板(11)和梳齿状电极(12)的方式形成。在将压电性基板(11)中传播的弹性波的波长设为λ、将从压电性基板(11)的上表面到绝缘膜(13)的上表面为止的厚度尺寸的最大值与最小值之差设为h时，h/λ处于0.01≤h/λ≤0.03的范围内。

主权项

一种表面声波元件，具备：压电性基板；梳齿状电极，其形成在所述压电性基板上；和绝缘膜，其以覆盖所述压电性基板和所述梳齿状电极的方式形成；在将所述压电性基板中传播的弹性波的波长设为λ、将从所述压电性基板的上表面到所述绝缘膜的上表面为止的厚度尺寸的最大值与最小值之差设为h时，h/λ处于0.01≤h/λ≤0.03的范围内。