| 发明名称 | 微机电传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x-y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱。本发明的微机电传感器（MEMS）（1）的特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。 | ||
| 申请公布号 | CN102334009A | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN201080009206.0 | 申请日期 | 2010.02.03 |
| 申请人 | 感应动力股份公司 | 发明人 | 伏尔克·坎普 |
| 分类号 | G01C19/5684(2012.01)I | 主分类号 | G01C19/5684(2012.01)I |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人 | 陈卫 |
| 主权项 | 一种微机电传感器（MEMS）（1），包含多个在一x‑y平面内受线性驱动的驱动元件（2，3，4），所述驱动元件布置在一衬底上，用于测定所述衬底的转速矢量的至少两个（优选三个）分量，其中，存在两组驱动元件（2，3；4），其大体在多个相互成直角的方向上受驱，其特征在于，相互间成直角受驱的所述驱动元件（2，4；3，4）借助一耦合装置（6，7）彼此相连，以实现同步运动，所述耦合装置以可旋转的方式安装在所述衬底上。 | ||
| 地址 | 奥地利格拉茨-莱布灵A8403爱贝芬德酒店 | ||