阳极接合方法、阳极接合夹具以及阳极接合装置

摘要

一种使第一基板与第二基板阳极接合的阳极接合方法，具备：基板配置工序，叠合上述第一基板与上述第二基板，将上述第一基板与上述第二基板之中充当阴极的一方的表面与具有平面的基座的上述平面接触而配置；夹具配置工序，继上述基板配置工序，将具有由能透射可见光线的材料构成的目视确认部的阳极接合夹具与上述第一基板和上述第二基板之中充当阳极的一方的表面接触而配置；对准工序，以分别设置于上述第一基板与上述第二基板的一对标记成为既定的位置关系的方式，基于透射上述目视确认部的可见光线调整上述第一基板与上述第二基板的相对位置关系；加压工序，沿使上述基座与上述阳极接合夹具相互接近的方向加压，夹入上述第一基板及上述第二基板；以及施加工序，在上述第一基板与上述第二基板之间施加直流电压。

主权项

一种使第一基板与第二基板阳极接合的阳极接合方法，具备：基板配置工序，叠合所述第一基板与所述第二基板，将所述第一基板与所述第二基板之中充当阴极的一方的表面与具有平面的基座的所述平面接触而配置；夹具配置工序，继所述基板配置工序，将具有由能透射可见光线的材料构成的目视确认部的阳极接合夹具与所述第一基板和所述第二基板之中充当阳极的一方的表面接触而配置；对准工序，以分别设置于所述第一基板与所述第二基板的一对标记成为既定的位置关系的方式，基于透射所述目视确认部的可见光线调整所述第一基板与所述第二基板的相对位置关系；加压工序，朝使所述基座与所述阳极接合夹具相互接近的方向加压，夹入所述第一基板与所述第二基板；以及施加工序，在所述第一基板与所述第二基板之间施加直流电压。