一种导电薄膜的溅镀成型装置

摘要

一种导电薄膜的溅镀成型装置。本实用新型为了解决现有技术的生产工序长、成本高、占用场地多和导电薄膜热处理过程存在传送张力，会导致薄膜被拉伸变形和使用上产生热收缩的缺陷。技术方案要点：是一个真空封闭室，其内设有特定的放卷室、溅镀室和收卷室，特征是溅镀室和收卷室之间设有热处理室，热处理室与溅镀室之间由带有缝口的溅镀室隔板隔开，热处理室与收卷室之间由带有缝口的收卷室隔板隔开，导电薄膜从溅镀室隔板的缝口进入热处理室进行热处理后才从收卷室隔板的缝口进入收卷室，导电薄膜在热处理室内是以自然悬垂状态进行传送，热处理室内在导电薄膜的自然悬垂传送路径的上下两侧处设有加热器。放卷室和溅镀室之间还可以设有溅镀预加热室。

主权项

一种导电薄膜的溅镀成型装置，是一个真空封闭室，其内设置有放卷室、溅镀室和收卷室，溅镀室内设有膜薄传送辊筒，薄膜传送辊筒外侧分布有若干个金属靶材阴极，薄膜基材从放卷室的放卷机构输出、进入溅镀室绕薄膜传送辊筒传送、由金属靶材阴极释放的粒子溅镀在薄膜基材上而成为导电薄膜、然后进入收卷室为收卷机构所收卷，其特征是：所述溅镀室和收卷室之间设有热处理室，热处理室与溅镀室之间由带有缝口的溅镀室隔板隔开，热处理室与收卷室之间由带有缝口的收卷室隔板隔开，导电薄膜是先从溅镀室隔板的缝口进入热处理室进行热处理后才从收卷室隔板的缝口进入收卷室，导电薄膜在热处理室内是以自然悬垂状态进行传送，热处理室内在导电薄膜的自然悬垂传送路径的上下两侧处设有加热器。