| 发明名称 | 用于隔离视口的设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明名称为“用于隔离视口的设备和方法”，公开了测量具有可隔离的视口(402)的涂层工艺的工艺参数的方法、检修的方法以及设备。该设备包括视口(402)、为将视口(402)与工艺室(406)选择性隔离而放置的器件(404)、以及置于视口(402)和器件(404)之间的第二室(408)。该器件(404)包括第一位置，以将视口(402)与工艺室(406)选择性隔离并选择性保持工艺室(406)中预定的工艺压力，该器件(404)包括第二位置，以选择性允许从视口(402)对工艺室(406)的视线测量，以及当该器件(404)在第二位置中时，第二室(408)保持工艺室(406)中预定的工艺压力。 | ||
| 申请公布号 | CN102330066A | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN201110227923.7 | 申请日期 | 2011.06.30 |
| 申请人 | 初星太阳能公司 | 发明人 | E·J·利特尔;M·J·帕沃尔 |
| 分类号 | C23C14/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 柯广华;王洪斌 |
| 主权项 | 一种具有可隔离的视口(402)的挡板设备(400)，所述挡板设备(400)包括：视口(402)；为将所述视口(402)与工艺室(406)选择性隔离而放置的器件；以及置于所述视口(402)和所述器件(404)之间的第二室(408)；其中所述器件(404)包括第一位置以将所述视口(402)与工艺室(406)选择性地隔离并选择性地保持所述工艺室(406)中预定的工艺压力；其中所述器件(404)包括第二位置以选择性地允许从所述视口(402)对所述工艺室(406)的视线测量；以及其中当所述器件(404)在第二位置中时，所述第二室保持所述工艺室(406)中的所述预定的工艺压力。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||