| 发明名称 | 单晶炉隔离系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶炉技术领域的单晶炉隔离系统，包括：密封构件、阀板组件、控制开阀装置和压紧装置，控制开阀装置和压紧装置均与阀体固定连接，阀板组件与控制开阀装置活动连接，密封构件设置于阀体内且与阀体固定连接，本发明通过开阀气缸控制，使阀板组件能实现水平至向下90°翻转，阀板组件向下翻转确保了隔离阀开闭时不会影响到晶棒。 | ||
| 申请公布号 | CN102330145A | 申请公布日期 | 2012.01.25 |
| 申请号 | CN201110300690.9 | 申请日期 | 2011.09.28 |
| 申请人 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 发明人 | 葛亮;杨永录;贺贤汉 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人 | 缪利明 |
| 主权项 | 一种单晶炉隔离系统，其特征在于，包括：密封构件、阀板组件、控制开阀装置和压紧装置，其中：控制开阀装置和压紧装置均与阀体固定连接，阀板组件与控制开阀装置活动连接，密封构件设置于阀体内且与阀体固定连接。 | ||
| 地址 | 200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号 | ||