发明名称 Method for calibrating a pyrometer, method for determining the temperature of a semiconducting wafer and system for determining the temperature of a semiconducting wafer
摘要
申请公布号 EP2251658(B1) 申请公布日期 2012.01.25
申请号 EP20090170604 申请日期 2009.09.17
申请人 LAYTEC AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZETTLER, JOERG-THOMAS;UREDAT, STEFFEN;ZILIAN, JENS;SCHENK, TOBIAS;HENNINGER, BERND;BINETTI, MARCELLO;HABERLAND, KOLJA
分类号 G01J5/00;G01J5/08;G01J5/52 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
地址