角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法

摘要

公开了一种角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法，其允许在平面内高精度地检测绕厚度方向上的轴的角速度。具体公开了一种角速度传感器，包括环形框架(10)、驱动部以及检测部。该框架包括第一梁的组(11a，11b)和第二梁的组(12a，12b)。第一梁的组在a轴方向上延伸并在与a轴方向正交的b轴方向上彼此相对。第二梁的组在b轴方向上延伸并在a轴方向上彼此相对。该驱动部使该框架在a轴和b轴所属的XY平面内以当第一和第二梁的组中的一组彼此靠近时另一组彼此分开的振动模式振动。该检测部基于以振动模式振动的框架在XY平面内的变形量，检测绕正交于XY平面的Z轴方向上的轴的角速度。

主权项

一种角速度传感器，包括：环形框架，具有在第一方向上延伸并在与所述第一方向正交的第二方向上彼此相对的第一梁的组、在所述第二方向上延伸并在所述第一方向上彼此相对的第二梁的组以及连接所述第一梁和所述第二梁的多个连接部；驱动部，使所述框架在所述第一方向和所述第二方向所属的第一平面内以当所述第一梁的组和所述第二梁的组中的一组彼此靠近时另一组彼此分开、而当一组彼此分开时另一组彼此靠近的振动模式来振动；第一检测部，基于以所述振动模式振动的所述框架在所述第一平面内的变形量，检测绕与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上的轴的角速度；以及支撑部，连接至所述连接部以支撑所述框架。