| 摘要 |
1. Способ получения монолитных кристаллов карбида кремния, включающий ! i) введение смеси, содержащей крошку поликристаллического кремния и порошок углерода, в цилиндрическую реакционную камеру, имеющую крышку; ! ii) герметизацию цилиндрической реакционной камеры; ! iii) помещение цилиндрической реакционной камеры в вакуумную печь; ! iv) откачивание из печи воздуха; ! v) заполнение печи смесью газов, которые по существу являются инертными газами, до приблизительно атмосферного давления; ! vi) нагревание цилиндрической реакционной камеры в печи до температуры от 1600 до 2500°С; ! vii) снижение давления в цилиндрической реакционной камере до менее 50 торр, но не менее 0,05 торр; и ! viii) осуществление сублимации и конденсации паров на внутренней части крышки цилиндрической реакционной камеры. ! 2. Способ по п.1, где размеры и форма частиц крошки поликристаллического кремния и порошка углерода существенно отличаются. ! 3. Способ по п.1 или 2, где размеры частиц крошки поликристаллического кремния составляют от 0,5 до 10 мм. ! 4. Способ по п.1, где размеры частиц крошки поликристаллического кремния составляют от 1 до 3,5 мм. ! 5. Способ по п.2, где размеры частиц крошки поликристаллического кремния составляют от 1 до 3,5 мм. ! 6. Способ по п.1, 2, 4 или 5, где размеры частиц порошка углерода составляют от 5 до 125 мкм. ! 7. Способ по п.1, где смесь крошки поликристаллического кремния и порошка углерода занимает 35-50% общего объема реакционной камеры. ! 8. Способ по п.1, где смесь газов содержит аргон. ! 9. Способ по п.1, где реакционную камеру изготавливают из электропроводного графита. ! 10. Способ по п.1, где в реакционной камере устанавливают затравочный кристалл ка� |
