CARRIER FOR A SILICON BLOCK, CARRIER ARRANGEMENT HAVING SUCH A CARRIER AND PROCESS FOR PRODUCING SUCH A CARRIER ARRANGEMENT

摘要

Ein Träger (13) für einen Siliziumblock (31) ist dazu ausgebildet ist, als Teil einer Trägeranordnung (11) zusammen mit einem Trägerunterteil (25) mit dem Siliziumblock (31) fest verbunden und zusammen mit diesem bewegt zu werden zur Bearbeitung durch Sägen, Reinigen odgl.. Der Träger (13) weist an seiner zu dem Siliziumblock (31) hin weisenden Unterseite mehrere Kanäle (29) auf und das hier angeklebte Trägerunterteil (25) auch, wobei die Kanäle (29) jeweils übereinander liegen. Wasser wird von oben im Träger (13) in die Kanäle (29) eingebracht und kann durch Sägeschlitze im Trägerunterteil (25) zwischen die Wafer des zersägten Siliziumblocks (31) laufen zur Reinigung.