Konzept zur nass-chemischen Entfernung eines Opfermaterials in einer Materialstruktur

摘要

Verfahren zur nass-chemischen Entfernung eines Opfermaterials (16) in einer Materialstruktur (12) zur Erzeugung eines Hohlraumes, mit folgenden Schritten: – Bereitstellen der Materialstruktur (12), wobei die Materialstruktur (12) einen durch eine Öffnung (20) zugänglichen Behandlungsbereich (22a, 22b) mit dem Opfermaterial (16) aufweist; – In-Kontakt-Bringen des Opfermaterials (16) mit einem nass-chemischen Behandlungsmittel (24) durch die Öffnung (20) zur Entfernung des Opfermaterials (16) und dadurch Bilden des Hohlraums; – Erzeugen einer mechanischen Schwingung im Megaschallbereich in dem nass-chemischen Behandlungsmittel (24) und der Materialstruktur (12) während des In-Kontakt-Bringens des Opfermaterials (16) mit dem nass-chemischen Behandlungsmittel (24); und – Verschließen der Öffnung (20) zum räumlichen Abschließen des Hohlraums.