发明名称 LED SUBSTRATE PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20120006553(A) 申请公布日期 2012.01.18
申请号 KR20117027744 申请日期 2010.04.16
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MOFFATT STEPHEN
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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