自动调整的丝网印刷工艺

摘要

本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安置的位置误差。使用此信息来调整图案化层在后续多个经处理衬底上的安置。

主权项

一种自动化沉积工艺，包括以下步骤：在衬底支撑件上定位第一衬底，其中第一衬底具有至少一个特征结构；以一图案将材料层沉积至第一衬底的表面上，其中所述图案包括至少两个对准标记；使用系统控制器确定所述至少两个对准标记相对于第一衬底的至少一个特征结构的实际取向及位置；及使用由所述系统控制器在确定所述至少两个对准标记的实际取向及实际位置期间内所接收到的信息，在相对于第二衬底的至少一个特征结构的经调整取向或经调整位置上，以一图案将材料层沉积至第二衬底的表面上，其中沉积在第二衬底上的材料的取向或位置比沉积在第一衬底上的材料的取向或位置更接近预期取向或预期位置。