酸性氯化物蚀刻液的循环再生工艺方法及金属铜回收系统

摘要

本发明公开了一种酸性氯化物蚀刻液的循环再生工艺方法及金属铜回收系统。该系统包括：酸性蚀刻槽；膜电解槽，通过泵浦连接到上述酸性蚀刻槽，该膜电解槽内分阴极区和阳极区，阴阳极以隔离膜支架分隔，所述阳极区是采用浸流式阳极；自动控制装置，连接到上述膜电解槽，用于将蚀刻液由泵浦从蚀刻槽打入膜电解槽的阳极区；并将电解再生处理后的蚀刻液由阳极区用泵浦打回至蚀刻工作槽继续蚀刻作业；在阳极区再生的同时，蚀刻液中铜离子透过离子膜进入阴极区，并沉积在阴极上，实现金属铜的电解回收。本发明的系统在回收金属铜的同时对蚀刻液进行再生，再生后的蚀刻液返回蚀刻槽继续工作，无任何废水、废气和废物排放；整个系统完全实现自动化控制。

主权项

一种酸性氯化物蚀刻液的循环再生工艺方法，其特征在于其包括以下步骤：(a)提供一酸性蚀刻槽，其内的药剂包括氯化铜，盐酸和少量添加剂；(b)通过自动控制装置在线监测蚀刻槽内的铜离子浓度、酸浓度以及蚀刻液氧化还原电位；(c)当酸性蚀刻液中一价铜离子浓度上升，蚀刻液的氧化还原电位降低，自动控制装置通过耐酸泵浦将蚀刻液打入膜电解槽的浸流式阳极区；(d)蚀刻液中一价铜离子被氧化为二价铜离子，蚀刻液因其氧化还原电位在电解槽的阳极区得以提升而被再生，自动控制装置将再生后的蚀刻液通过泵浦或自然溢流的方式再打回蚀刻槽实现连续蚀刻金属工作；(e)在蚀刻液再生的同时，其中铜离子在电场的作用下透过离子膜进入阴极区，并沉积在不锈钢或钛材质的阴极上。