衬底处理设备

摘要

本实用新型公开了一种衬底处理设备，包括处理腔和直线运动装置；处理腔具有开孔；直线运动装置包括驱动杆和波纹管；驱动杆穿过所述处理腔上的开孔并延伸到处理腔外，且驱动杆能够沿其轴线方向做直线运动并在衬底处理设备处理衬底时处于第一位置；波纹管的一端密封连接处理腔开孔周围的处理腔外壁，另一端密封连接驱动杆位于处理腔外的部分；所述衬底处理设备还包含密封机构，其包括设置在位于处理腔内部的驱动杆上的密封板，该密封板在驱动杆处于第一位置时，密封开孔。本实用新型通过在驱动杆位于处理腔密封空间内的部分上设置密封机构，以密封处理腔上的开孔，防止反应气体进入波纹管内部，从而有效解决现有技术中波纹管被反应气体侵蚀损害的问题。

主权项

一种衬底处理设备，其包括处理腔（31）和直线运动装置；所述处理腔（31）具有开孔（37）；所述直线运动装置包括驱动杆（33）和波纹管（35）；所述驱动杆（33）穿过所述处理腔（31）上的开孔（37）并延伸到所述处理腔（31）外，所述驱动杆（33）能够沿其轴线方向做直线运动并在所述衬底处理设备处理衬底时处于第一位置；所述波纹管（35）的一端密封连接所述处理腔（31）的开孔（37）周围的处理腔外壁，另一端密封连接位于所述处理腔（31）外的所述驱动杆（33）；其特征在于，所述衬底处理设备还包含密封机构（36），所述密封机构（36）包括设置在位于所述处理腔（31）内部的驱动杆（33）上的密封板（361），所述密封板（361）在所述驱动杆（33）处于第一位置时，密封所述开孔（37）。