一种硅单晶炉的热场系统

摘要

本实用新型公开了一种硅单晶炉的热场系统，包括设置在保温筒中的加热器，加热器中装有坩埚，坩埚底部有埚托支撑，埚托底部装有托杆轴，该托杆轴经保温筒底部伸出；在坩埚顶部设有导流筒，导流筒上开口与保温筒顶部开口对应；在筒形保温层顶部还设有保温盖，其特征在于，所述保温筒分为相互匹配并连接在一起的上保温筒、中保温筒和下保温筒，对应上、中、下保温筒的外侧分别包裹有上保温层、中保温层和下保温层；所述保温盖分为两层，分别为上保温盖和下保温盖。本实用新型通过保温筒和保温层的多级设置，改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性，有利于提高单晶棒的成晶质量。

主权项

一种硅单晶炉的热场系统，包括设置在保温筒中的加热器（1），石墨坩埚（2），坩埚（2）底部有埚托（14）支撑，埚托（14）底部装有托杆轴（15），该托杆轴（16）经保温筒底部伸出；在坩埚（2）顶部设有导流筒（4），导流筒（4）上开口与保温筒顶部开口对应；在筒形保温层顶部还设有保温盖，其特征在于，所述保温筒分为相互匹配并连接在一起的上保温筒（5）、中保温筒（6）和下保温筒（7），对应上、中、下保温筒的外侧分别包裹有上保温层（11）、中保温层（12）和下保温层（13）；所述保温盖分为两层，分别为上保温盖（9）和下保温盖（10）。