发明名称 玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法
摘要
申请公布号 TWI356046 申请公布日期 2012.01.11
申请号 TW096137294 申请日期 2007.10.04
申请人 行政院原子能委员会 核能研究所 发明人 刘建国;雍敦元;林金福;吴思翰
分类号 C03C27/00 主分类号 C03C27/00
代理机构 代理人 欧奉璋 台北市信义区松山路439号3楼
主权项 一种玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其至少包括下列步骤:(A)选择一第一基板,并在该第一基板上排列有一第一封接材料、一第二封接材料及一第三封接材料,且该第一封接材料系排列于该第二封接材料与第三封接材料之间,并在该第一封接材料上放置一第二基板,其中,该第一、二、三封接材料系为玻璃或玻璃-陶瓷组成物,且该第一封接材料系可为二氧化矽(SiO2)0~40 mol%、氧化硼(B2O3)0~20 mol%、氧化铝(Al2O3)0~20 mol%、氧化钡(BaO)0~40 mol%、氧化钙(CaO)0~10 mol%及氧化钛(TiO2)0~10 mol%,而该第二、三封接材料系可为二氧化矽0~40 mol%、氧化硼0~20 mol%、氧化铝0~10 mol%、氧化钡0~40 mol%、氧化钙0~20 mol%及氧化锆(ZrO2)0~5 mol%;(B)进行加热至该第一封接材料之软化温度690℃,利用此时温度尚未到达该第二、三封接材料之软化温度710℃,透过施加一负载使该第一封接材料软化至该第二、三封接材料之高度后,再持续加热至该第一封接材料之结晶温度700℃并予以持温,其中,该第一封接材料系具有可结晶性,且其熔点系较该第二、三封接材料高,而该第二、三封接材料系具有不可结晶性,或系结晶温度较该第一封接材料高,系大于900℃;以及(C)继续加热至该第二、三封接材料之润湿温度,使该第一封接材料、该第二封接材料及该第三封接材料与欲封接之第一、二基板之接着界面达到润湿,即可完成封接。依申请专利范围第1项所述之玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其中,该第一基板系为金属或陶瓷。依申请专利范围第1项所述之玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其中,该第二基板系为金属或陶瓷。依申请专利范围第1项所述之玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其中,该步骤(A)之第二、三封接材料与该第二基板间之高度系为封接间隙高度。依申请专利范围第1项所述之玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其中,该步骤(B)之负载在该第一封接材料软化后,由该第二、三封接材料支撑。依申请专利范围第1项所述之玻璃或玻璃-陶瓷组成物之封接方法,其中,该步骤(B)在该第一封接材料于结晶温度持温至完全结晶后,该负载将转由该第一封接材料支撑。
地址 桃园县龙潭乡文化路1000号