锍盐、光酸产生剂及光敏性树脂组合物

摘要

本发明提供一种对i-光线具有高光敏性的锍盐。本发明的锍盐以下述式(1)所表示。[化1][式(1)中，R1～R6相互独立，表示烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、芳硫基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环烃基、芳氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可经取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子，m1～m6分别表示R1～R6的个数，m1、m4及m6表示0～5的整数，m2、m3及m5表示0～4的整数，X-表示一价的多原子阴离子]。

主权项

1.一种锍盐，其结构以下述式(1)所表示：[化1]所述式(1)中，R¹～R⁶相互独立，表示烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、芳硫基羰基、酰氧基、芳硫基、烷硫基、芳基、杂环烃基、芳氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可经取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子，m¹～m⁶分别表示R¹～R⁶的个数，m¹、m⁴及m⁶表示0～5的整数，m²、m³及m⁵表示0～4的整数，X^-表示一价的多原子阴离子。