混合浆料系统、应用在该系统上的排水管及清洗方法

摘要

本发明公开了一种混合浆料系统、应用在该系统上的排水管及清洗方法，将透明材料管道接入混合浆料系统中排水管的入口和/或出口，通过监控透明材料管道中的废液流速，及两者的流速之比确定排水管是否由于废液中的结晶积累被堵塞，如果是，则立即对排水管进行清洗。当然，也可以根据监控透明材料管道中的结晶量确定是否对排水管进行清洗。这样，本发明就可以及时并准确地对排水管进行清洗，不影响混合罐对下一批混合浆料的混合，不会影响整个混合浆料系统对混合浆料的正常供应，进而不会影响半导体器件的制造。

主权项

一种混合浆料系统，包括：混合罐和与混合罐连接的排水管，其特征在于，所述排水管具有部分透明材质管道，用于在混合罐排出废液时实时监控所述部分透明材质管道，确定是否对排水管进行清洗。