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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR MEMORY
摘要
申请公布号
JPH04285798(A)
申请公布日期
1992.10.09
申请号
JP19910051043
申请日期
1991.03.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
TAKEUCHI YOSHIHARU
分类号
G11C11/401;G11C29/00;G11C29/44;H01L21/82;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108
主分类号
G11C11/401
代理机构
代理人
主权项
地址
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