| 发明名称 | 光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法，该光刻胶组合物包括约0.5-约20重量份的光致产酸剂、约10-约70重量份的含有羟基的酚醛清漆树脂、约1-约40重量份的交联剂、以及约10-约150重量份的溶剂，其中该交联剂包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN101281369B | 申请公布日期 | 2012.01.11 |
| 申请号 | CN200810091113.1 | 申请日期 | 2008.04.02 |
| 申请人 | 三星电子株式会社;东进瑟弥侃株式会社 | 发明人 | 朴廷敏;郑斗喜;李羲国;尹赫敏;丘冀赫 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 金拟粲 |
| 主权项 | 1.一种光刻胶组合物，包括：0.5-20重量份的光致产酸剂，该光致产酸剂包括由以下化学式1表示的第一化合物和/或由以下化学式2表示的第二化合物；10-70重量份的含有羟基的酚醛清漆树脂；1-40重量份的交联剂，该交联剂包括化学式3表示的六甲氧基甲基三聚氰胺与化学式4表示的六羟甲基三聚氰胺三甲基醚；以及10-150重量份的溶剂，<化学式1><img file="FSB00000624120800011.GIF" wi="805" he="496" /><化学式2><img file="FSB00000624120800012.GIF" wi="954" he="349" />其中R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>和R<sub>3</sub>独立地表示具有1-4个碳原子的烷基，<化学式3><img file="FSB00000624120800013.GIF" wi="611" he="595" /><化学式4><img file="FSB00000624120800021.GIF" wi="692" he="576" /> | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||