用于单晶炉的外部连续投料机构

摘要

本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供一种用于单晶炉的外部连续投料机构。该投料机构包括一个带密封盖的料仓，料仓底部设放料阀门；放料阀门接于一根放料内管，放料内管的外面套设一根放料外管；放料外管与一个用于实现放料外管沿放料内管延长方向伸缩的传动机构连接，放料内管、放料外管及传动机构均设于气密筒中；气密筒底端设一个球阀或翻板阀，单晶炉的主炉室上部设有一投料口，投料口与球阀或翻板阀气密连接。本发明可在不需要停炉的情况下实现装料，以便连续生长多根晶体，节省了停炉冷却、擦炉、装料、抽真空、化料等步骤所需的时间，大幅提高了生产效率，提高石英坩埚利用率，有效降低成本。

主权项

用于单晶炉的外部连续投料机构，包括一个带密封盖的料仓，料仓底部设放料阀门；其特征在于，放料阀门接于一根放料内管，放料内管的外面套设一根放料外管；放料外管与一个用于实现放料外管沿放料内管延长方向伸缩的传动机构连接，放料内管、放料外管及传动机构均设于气密筒中；气密筒底端设一个球阀或翻板阀，单晶炉的主炉室上部设有一投料口，投料口与球阀或翻板阀气密连接。