高性能薄膜电阻及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高性能薄膜电阻及其制造方法，包括绝缘基板，在绝缘基板上设有电阻薄膜，在每个电阻薄膜的两侧设有引出电极，在每个电阻薄膜两侧边缘的顶面设有顶部电极，在电阻薄膜的顶面及顶部电极的顶面上设有绝缘保护膜。本发明采用掩膜工艺与沉积法结合的方式来制备薄膜电阻，该方法所易于产业化，所获得的产品各层之间的附着力强、质量好；还采用了化学稳定性好的金属来作为薄膜电阻的材料，以提高电阻材料的耐腐蚀性及热稳定性，使其可以在如高频、高温、高压、低温和太空等恶劣环境下使用，能被应用在众多的高科技领域，扩展了其适用范围。

主权项

一种高性能薄膜电阻，包括绝缘基板（4），其特征在于：在绝缘基板（4）上设有电阻薄膜（3），在每个电阻薄膜（3）的两侧设有引出电极（1），在每个电阻薄膜（3）两侧边缘的顶面设有顶部电极（5），在电阻薄膜（3）的顶面及顶部电极（5）的顶面上设有绝缘保护膜（2）。