可变磁阻装置、台设备、光刻设备和器件制造方法

摘要

本发明公开一种可变磁阻装置、台设备、光刻设备以及器件制造方法。一种可变磁阻装置包括第一和第二磁性部件、线圈、测量线圈以及控制单元。第一和第二磁性部件相对于彼此是可位移的，以提供具有可变磁阻的磁路。线圈在使用时用于接收用于产生通过磁路的磁通量的电流。测量线圈产生表示通过磁路的磁通量的测量信号，由此测量线圈布置成基本上封闭通过磁路的磁通量。控制单元布置成在输入端子处接收通量信号，并且响应地基于测量信号在输出端子处提供控制信号，用于控制另一装置的力或电流的幅值。该装置可以例如应用于台设备或光刻设备。

主权项

一种可变磁阻装置，包括：(a)第一和第二磁性部件，相对于彼此是可位移的、以提供具有可变磁阻的磁路；(b)线圈，在使用时用于接收用于产生通过所述磁路的磁通量的电流；(c)测量线圈，用于产生表示通过所述磁路的磁通量的测量信号，由此测量线圈布置成基本上封闭通过所述磁路的磁通量；和(d)控制单元，布置成在输入端子处接收测量信号，并且响应地基于测量信号在输出端子处提供控制信号，用于控制另一装置的力或电流的幅值。