发明名称 |
一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法 |
摘要 |
本发明属于涂层材料领域,具体涉及一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法。本发明中的方法为采用Cu-Mo复合涂层作为W涂层与铜合金基材间的中间层,且所述中间层的厚度为50-200μm。利用本发明提供的方法,通过工艺参数的控制可使制备的W涂层与铜合金基材间的结合强度达到40MPa以上,同时含中间层的涂层具有结构均匀、热导率高、工艺制备过程简单的特点。 |
申请公布号 |
CN102312186A |
申请公布日期 |
2012.01.11 |
申请号 |
CN201010216477.5 |
申请日期 |
2010.07.02 |
申请人 |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
牛亚然;郑学斌;季珩;黄利平;丁传贤 |
分类号 |
C23C4/12(2006.01)I;C23C4/08(2006.01)I;B32B15/01(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
许亦琳;余明伟 |
主权项 |
一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法,其特征在于,该方法在钨涂层与铜合金基材间采用Cu Mo复合中间层。
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地址 |
200050 上海市长宁区定西路1295号 |