发明名称 一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法
摘要 本发明属于涂层材料领域,具体涉及一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法。本发明中的方法为采用Cu-Mo复合涂层作为W涂层与铜合金基材间的中间层,且所述中间层的厚度为50-200μm。利用本发明提供的方法,通过工艺参数的控制可使制备的W涂层与铜合金基材间的结合强度达到40MPa以上,同时含中间层的涂层具有结构均匀、热导率高、工艺制备过程简单的特点。
申请公布号 CN102312186A 申请公布日期 2012.01.11
申请号 CN201010216477.5 申请日期 2010.07.02
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 牛亚然;郑学斌;季珩;黄利平;丁传贤
分类号 C23C4/12(2006.01)I;C23C4/08(2006.01)I;B32B15/01(2006.01)I 主分类号 C23C4/12(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 许亦琳;余明伟
主权项 一种提高真空等离子体喷涂钨涂层结合强度的方法,其特征在于,该方法在钨涂层与铜合金基材间采用Cu Mo复合中间层。
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号