| 摘要 |
1. Регулируемый источник потока газа, содержащий диффузионный натекатель, состоящий из вакуумного сосуда с входным патрубком для ввода контролируемого газа, сосуд снабжен диффузионным элементом, через который происходит выход газа, и нагревателем, отличающийся тем, что устройство содержит, по крайней мере, два диффузионных натекателя, установленных в кассете, каждый из них настроен на определенный поток, при этом диффузионный элемент натекателей выполнен в виде мембраны, закрепленной на открытом торце сосуда, входной патрубок снабжен клапаном-дозатором. ! 2. Регулируемый источник потока газа по п.1, отличающийся тем, что нагреватель снабжен устройством регулирования нагрева. ! 3. Регулируемый источник потока газа по п.1, отличающийся тем, что нагреватель размещен снаружи вокруг стенок сосуда. ! 4. Регулируемый источник потока газа по п.1, отличающийся тем, что нагреватель размещен внутри сосуда. ! 5. Регулируемый источник потока газа по п.4, отличающийся тем, что нагреватель размещен у стенок сосуда. ! 6. Регулируемый источник потока газа по п.4, отличающийся тем, что нагреватель размещен под мембраной и выполнен в виде пористого диска. ! 7. Регулируемый источник потока газа по п.4, отличающийся тем, что сосуд выполнен металлическим. |
