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发明名称
DEVICE FOR LEVELING HEAD PLATE AND PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR101103430(B1)
申请公布日期
2012.01.09
申请号
KR20100085459
申请日期
2010.09.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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