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发明名称 Ag ALLOY THIN FILM, SPUTTERING TARGET, AND METHOD FOR PRODUCING Ag ALLOY THIN FILM
摘要
申请公布号 KR101101732(B1) 申请公布日期 2012.01.05
申请号 KR20030091353 申请日期 2003.12.15
申请人 发明人
分类号 C22C5/06;G02F1/1335;C23C14/14;C23C14/34;G02F1/1343;H01L51/50;H05B33/14;H05B33/26 主分类号 C22C5/06
代理机构 代理人
主权项
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