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经营范围
发明名称
OPTICAL SCANNING SYSTEM FOR SURFACE INSPECTION
摘要
申请公布号
EP0979398(B1)
申请公布日期
2012.01.04
申请号
EP19970929786
申请日期
1997.06.03
申请人
KLA-TENCOR CORPORATION
发明人
LESLIE, BRIAN, C.;NIKOONAHAD, MEHRDAD;WELLS, KEITH, B.
分类号
G01N21/94;G01N21/956
主分类号
G01N21/94
代理机构
代理人
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