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发明名称 MODULE FOR A COATING SYSTEM AND ASSOCIATED TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 EP1882051(A4) 申请公布日期 2012.01.04
申请号 EP20060759403 申请日期 2006.05.10
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PETRACH, PHILIP
分类号 H01J37/34;C23C14/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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