激光束表面镀膜装置

摘要

一种激光束表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，布置于真空容器外的用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述真空容器上设置有能够透过激光束的玻璃窗；由于采用激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题，并且激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；由于激光辐照器外置于真空容器，避免了蒸镀材料的蒸汽沉积在激光辐照器上造成污染，只需定期清洗或更换玻璃窗即可保证激光束的辐照效率。

主权项

一种激光束表面镀膜装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，布置于真空容器外的用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述真空容器上设置有能够透过激光束的玻璃窗。