发明名称 矽单晶之制造方法,及矽晶圆之制造方法
摘要
申请公布号 TWI355431 申请公布日期 2012.01.01
申请号 TW096131700 申请日期 2007.08.27
申请人 上睦可股份有限公司 发明人 稻见修一;井上邦春;诸石学;深川嗣也;草场伸博
分类号 C30B15/36 主分类号 C30B15/36
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本