| 主权项 |
一种微影设备，其包括：一辐射系统，其经组态以调节一辐射光束；一支撑件，其建构以支撑一图案化装置，该图案化装置能在该辐射光束的截面赋予一图案，以形成一图案化辐射光束，该支撑件包括一力致动装置以在该支撑件之一移动方向中施加一力于该图案化装置上，该力致动装置包括：(i)一可移动零件，其系绕一连接至该支撑件之枢轴转动，该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡；以及(ii)一致动器，经由该可移动零件施加该力于该图案化装置上；一控制器，其基于该支撑件于该移动方向中的一加速度驱动该致动器；一投影系统，其经组态以将该图案化辐射光束投射至一基板上；以及一基板台，其经组态以支撑该基板，其中，当该支撑件从其休息处的一位置在相反于该移动方向的一方向上加速时，该致动器经组态以维持在一实质上休息状态。如请求项1之微影设备，其中该控制器系配置以实质上与该支撑件在该移动方向中的该加速度成比例地驱动该致动器。如请求项1之微影设备，其中该致动器包括一压电致动器、一线性马达、一液压致动器、及一气动致动器之至少一者。如请求项3之微影设备，其中该线性马达包括一Lorenz马达。如请求项3之微影设备，其中该线性马达包括一Maxwell马达。如请求项1之微影设备，其中该力致动装置进一步包括一位移机构，以位移该可移动零件之一作用范围。如请求项6之微影设备，其中该位移机构包括一气压缸、一偏心零件、一压电致动器、一液压缸/薄膜之至少一者。如请求项1之微影设备，其中该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡，使得在该支撑件的加速期间，及该致动器没有施加该力时，该可移动零件实质上未绕着该枢轴转动。一种微影设备，其包括：一辐射系统，其经组态以调节一辐射光束；一支撑件，其建构以支撑一图案化装置，该图案化装置能在该辐射光束的截面赋予一图案，以形成一图案化辐射光束，该支撑件包括一力致动装置以在该支撑件之一移动方向中施加一力于该图案化装置上，该力致动装置包括：(i)一可移动零件，其系绕一连接至该支撑件之枢轴转动，该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡；以及(ii)一致动器，经由该可移动零件施加该力于该图案化装置上；一投影系统，其经组态以将该图案化辐射光束投射至一基板上；以及一基板台，其经组态以支撑该基板，其中该可移动零件包括一第一臂，其在该枢轴及一接触零件之间延伸，俾使该可移动零件接触该图案化装置；及一第二臂，其在该枢轴及一施力点之间延伸，其中该致动器施加一致动力至该第二臂上，该第一臂相对于该第二臂于该支撑件的该移动方向中保持平衡。如请求项9之微影设备，其中该第二臂自该施力点至该枢轴的一长度超过该第一臂自接触点至该枢轴的一长度。如请求项9之微影设备，其中该第二臂的该施力点相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中偏移。如请求项11之微影设备，其中该致动器经组态以在垂直于该移动方向的一方向中施一致动力于该第二臂上。如请求项12之微影设备，其中该致动器经组态以直接在该第一可移动零件上发生作用。如请求项12之微影设备，其中该致动器经组态以经由一第二可移动零件在该第一可移动零件上发生作用，该第二可移动零件系相对于该支撑件绕一第二枢轴转动。如请求项14之微影设备，其中该第二可移动零件相对于该第二枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡。如请求项14之微影设备，其中该第二可移动零件系铰接式地连接至该第一可移动零件。如请求项14之微影设备，其中该第二可移动零件包括一第三臂，其自该第二枢轴延伸至该施力点；及一第四臂，其自该枢轴延伸至该致动器，该第四臂延伸在该移动方向中；其中该第四臂的一长度超过该第三臂的一长度。一种用以位移具有一实质平坦表面之一物件的阶台设备，其包括：一支撑件，其建构以支撑该物件，该支撑件包括一力致动装置，以在该支撑件之一移动方向中施加一力于该物件上，该力致动装置包括：(i)一可移动零件，其系绕一连接至该支撑件之枢轴转动，该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡；以及(ii)一致动器，经由该可移动零件施加该力于该物件上，该致动器经组态以藉由一控制器基于该支撑件在该移动方向中的一加速度所驱动，其中当该支撑件从其休息处的一位置在相反于该移动方向的一方向上加速时，该致动器经组态以维持一实质上休息状态。一种用于一微影设备之支撑装配件，其包括：一支撑件，其经组态以支撑一图案化装置；一可移动零件，其可绕一枢轴而转动，该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的一移动方向中保持平衡；以及一致动器，其经组态以经由该可移动零件施加一力于该图案化装置上，该致动器经组态以藉由一控制器基于该支撑件在该移动方向中的一加速度所驱动，其中当该支撑件从其休息处的一位置在相反于该移动方向的一方向上加速时，该致动器经组态以维持一实质上休息状态。一种微影设备，其包括：一辐射系统，其经组态以调节一辐射光束；一支撑件，其建构以支撑一图案化装置，该图案化装置能在该辐射光束的截面赋予一图案，以形成一图案化辐射光束，该支撑件包括一力致动装置，以在该支撑件之一移动方向中施加一力于该图案化装置上，该力致动装置包括：(i)一可移动零件，其系绕一连接至该支撑件之枢轴转动，及(ii)一致动器，经由该可移动零件施加该力于该图案化装置上，该可移动零件实质上相对于该枢轴在该支撑件的该移动方向中保持平衡，使得该致动器没有施加该力，而当该支撑件从其休息的一位置加速时该可移动零件实质上未绕着该枢轴转动；一投影系统，其经组态以将该图案化辐射光束投影至一基板；及一基板台，其经组态以支撑该基板。 |
