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Bei einem Verfahren zur materialabtragenden Feinbearbeitung einer Bohrungsinnenfläche einer Bohrung eines Werkstücks, insbesondere zum Honen von Bohrungsinnenflächen, bearbeitet mindestens ein Feinbearbeitungswerkzeug (140) die Bohrungsinnenfläche und es wird mit Hilfe eines Messsystems eine Messung an der Bohrung durchgeführt. Dabei wird ein Feinbearbeitungswerkzeug verwendet, das einen Werkzeugkörper und eine an dem Werkzeugkörper angebrachte Schneidgruppe mit Schneidstoffkörpern (142) hat, die mittels eines der Schneidgruppe zugeordneten Schneidgruppen-Zustellsystems radial zur Werkzeugachse zugestellt werden. Das Feinbearbeitungswerkzeug (140) hat mindestens ein Messelement (165, 166) des Messsystems, wobei das Messelement mittels eines dem Messelement zugeordneten Messelement-Zustellsystems radial zur Werkzeugachse zustellbar ist. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass das Messelement für eine Messung bis in eine Kontaktposition mit Berührungskontakt zwischen einer radialen Aussenfläche des Messelements und der Bohrungsinnenfläche zugestellt wird und dass in der Kontaktposition ein dem radialem Abstand zwischen der Werkzeugachse und der Aussenfläche entsprechendes Masssignal ermittelt wird.
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