发明名称 METHOD FOR INCREASING THE TRANSLUCENCY OF A SUBSTRATE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erhöhung der Transluzenz eines Substrats, bei dem auf der Lichtaustrittsseite mittels chemischer Gasphasenabscheidung bei Atmosphärendruck unter Verwendung einer Flamme oder eines Plasmas eine Streuschicht abgeschieden wird, die entweder Zinkoxid und Aluminium und/oder Aluminiumoxid, insbesondere aluminiumdotiertes Zinkoxid oder Siliziumoxid enthält.</p>
申请公布号 WO2011161038(A1) 申请公布日期 2011.12.29
申请号 WO2011EP60190 申请日期 2011.06.20
申请人 INNOVENT E.V.;SCHIMANSKI, ARND;HEFT, ANDREAS;STRUPPERT, THOMAS;GITTER, UWE 发明人 SCHIMANSKI, ARND;HEFT, ANDREAS;STRUPPERT, THOMAS;GITTER, UWE
分类号 H01L31/0236 主分类号 H01L31/0236
代理机构 代理人
主权项
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