一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒

摘要

本实用新型公开一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒，该反应盒包括：一不锈钢上导气管，一不锈钢下导气管，一中心铝电极板，两块铝质门板，两块不锈钢堵头板，多条呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。所述不锈钢上导气管为其横截面呈上、中、下三隔层的方通管，方通管中间隔层以及方通底部分别钻制有气流孔；下导气管为其横截面呈上、下两层的方通管，方通管中间隔层以及方通管顶部分别钻制有气流孔；所述上导气管的一端设有一进气口；所述下导气管的一端设有一出气口；所述中心铝电极板周围装有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条；所述铝质门板安装于反应盒两侧。这样设计的反应盒，可以有效提高反应气体流进反应空间的气流的均匀性，从而使得沉积的非晶硅膜厚度的均匀性得到很好的改善。

主权项

一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒，其特征在于，包括：‑不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；‑不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；‑中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝质门板，所述铝质门板安装于反应盒两侧；两块堵头板，所述堵头板分别安装于反应盒两端。