高纯特种气体低温分离充装系统

摘要

一种高纯特种气体低温分离充装系统，将列管分离器放置在液氮缸里，列管分离器的进气口与排气口分别连接着进气管和排气管，在进气管上设置进气管阀门，在排气管上设置排气阀门；排气管连接着真空泵。需提纯的带压气体在列管分离器里冻结，与不凝气体进行冷冻分离，用真空泵将不凝杂质气体通过排气管抽出，再对列管分离器升温、升压，对需提纯气体进行检测，合格后充瓶。系统操作简单，经济可靠，气体提纯效果好。

主权项

一种高纯特种气体低温分离充装系统，其特征在于：系统包括列管分离器(3)、进气管(1)、进气管阀门(2)、液氮缸(4)、排气阀门(5)、排气管(6)、真空泵，将列管分离器(3)放置在液氮缸(4)里，列管分离器(3)的进气口与排气口分别连接着进气管(1)和排气管(6)，在进气管上设置进气管阀门(2)，在排气管上设置排气阀门(5)；排气管(6)连接着真空泵。