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发明名称 Method for diamond surface treatment and device using thin fi lm of diamond
摘要
申请公布号 GB2452873(B) 申请公布日期 2011.12.28
申请号 GB20080021220 申请日期 2007.04.27
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY, INDEPENDANT ADMINISTRATIVE INSTITUTION 发明人 HITOSHI UMEZAWA;SHINICHI SHIKATA;KAZUHIRO IKEDA
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L29/16;H01L29/47;H01L29/78;H01L29/861;H01L29/872 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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