分体式并行微通道径向气体静压节流器

摘要

本发明涉及一种分体式并行微通道径向气体静压节流器。传统的节流器难以同时满足系统的超稳定和高刚度的要求。本发明节流器主体和配合塞构成。节流器主体呈长方体状，其上表面为凹曲面，该上表面开有多道出气槽，节流器主体一对侧面上开有贯穿节流器主体的进气孔；另一对侧面上开有装配孔；配合塞位于节流器主体内，其纵截面呈Y字型，配合塞的上表面为与节流器主体上表面曲率相同的凹曲面，该上表面的中心位置开有节流孔，节流孔四周的曲面曲率大于凹曲面的曲率；配合塞的四周侧壁上均开有微通道；配合塞的底面与节流器主体之间设置有用于定位的凸台。利用本发明所形成的静压系统气膜具有较大的刚度和较高的稳定性。

主权项

分体式并行微通道径向气体静压节流器，其特征在于：由节流器主体(1)和配合塞(2)构成；节流器主体(1)呈长方体状，其上表面为凹曲面，该上表面开有多道出气槽(3)，节流器主体(1)一对侧面上开有贯穿节流器主体(1)的进气孔(4)；另一对侧面上开有装配孔(5)；配合塞(2)位于节流器主体(1)内，其纵截面呈Y字型，配合塞(2)的上表面为与节流器主体(1)上表面曲率相同的凹曲面，配合塞(2)的上表面的中心位置开有节流孔(6)，节流孔(6)四周的曲面曲率大于凹曲面的曲率；配合塞(2)的四周侧壁上均开有微通道(7)；配合塞(2)的底面与节流器主体(1)之间设置有用于定位的凸台(8)；节流器主体(1)上表面的出气槽(3)的中轴线均垂直于该出气槽所在面的边沿，出气槽(3)与配合塞(2)四周侧壁上对应的微通道(7)连通；配合塞(2)与节流器主体(1)上的装配孔(5)相对应处开有用于紧固的螺纹孔(9)；从节流器主体进气孔(3)进入的气体一部分从节流孔(6)射出，另一部分沿微通道(7)、出气槽(3)射出至周围大气，沿节流器主体(1)长边两侧的微通道(7)与水平面所形成的夹角α为锐角。