压电驱动电容检测的双轴陀螺仪

摘要

本发明涉及一种微机电技术领域的压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其中：圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上。上极板信号检测电极位于上极板的下端面，下极板信号检测电极位于下极板上端面。上极板、下极板和陀螺振子装配形成差分电容用于检测输出信号。本发明采用圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子的特殊模态，利用压电效应驱动，电容检测，来敏感平行于陀螺振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，在恶劣的环境下能很好的工作。

主权项

一种压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其特征在于包括：陀螺振子，支撑圆柱，压电薄膜驱动电极，上极板，下极板，上极板信号检测电极以及下极板信号检测电极；所述陀螺振子为圆盘状、轮辐状或蜂窝状，陀螺振子上表面设有压电薄膜驱动电极，陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上，上极板信号检测电极位于上极板的内端面，下极板信号检测电极位于下极板内端面，上极板、下极板和陀螺振子装配形成差分电容用于检测输出信号。