激光加工方法及激光加工装置

摘要

本发明提供一种能够高效加工形状精度优越的孔的激光加工方法及激光加工装置。将用于修正镜(1a)或/及镜(1b)的反射面的变形的柱面透镜(50a)或/及柱面透镜(50b)配置在激光束(20)的光轴上，使激光束(20)的X成分和Y成分的聚光位置与光轴方向一致。代替柱面透镜，使用反射面为曲面的反射镜也可以。作为使激光束(20)的X成分和Y成分的聚光位置在光轴方向上一致的方法，可以使X成分和Y成分双方与设计位置(Fa)一致，也可以不修正一方，而使另一方与不修正的一方一致。

主权项

一种激光加工装置，具有旋转轴线为X方向的X镜、旋转轴线为Y方向的Y镜以及聚光透镜，利用上述X镜和上述Y镜来定位激光并使其入射到上述聚光透镜，再利用聚光后的激光进行加工，其特征在于，设有修正上述X镜或上述Y镜的反射面的曲率的光学单元，将该光学单元配置在上述激光的光轴上；使上述激光的X方向和Y方向的聚光位置在光轴方向上一致，并且，通过计算相对上述X镜及上述Y镜的各自中心的X方向的变形量的和与Y方向的变形量的和的差来决定上述光学单元的焦距。