Laser beam irradiation apparatus for substrate sealing, substrate sealing method, and manufacturing method of organic light emitting display device using the same
摘要
<p>본 발명의 일 측면은, 제1 기판과 제2 기판 사이에 배치된 밀봉부에 레이저 빔을 조사하여 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 밀봉하는데 사용되는 레이저 빔 조사 장치에 있어서, 상기 레이저 빔은 전체가 일정한 빔 세기(beam intensity)를 가지며, 상기 레이저 빔 중심선에 대해 대칭적 형상으로 중심부 양 측면이 오목하게 들어간 형상의 빔 프로파일을 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 조사 장치를 제공한다.</p>
